Laboratory Single Target DC Power Magnetron Supptering Coater Coating Machine

Laboratory Single Target DC Power Magnetron Supptering Coater Coating Machine

laboratory Single focus on DC energy magnetron supptering coater coating equipment
Basic Info

  • Design NO.: CY-16

  • Coating: Vacuum Coating

  • Certification: CE, TUV

  • Specimen Chamber: Fused Glass Tube

  • Name: Mini Evaporation Coater

  • Transportation Deal: CZPT Box

  • Origin: HangZhou, China

  • Variety: Coating Spray Gun

  • Substrate: Aluminum

  • Situation: New

  • Tungsten Heater : CZPT Fiber String

  • CZPTmark: CY

  • HS Code: 854375710

    Solution Description

    CY-sixteen- is a High Power Desktop CZPTron Plasma Sputtering Coater with a water cold  2″  target head , water chiller and rotatable sample holder, 
    which is designed for coating all metallic films, including Zn, Al, Ti light metallic film  at affordable cost. One Aluminium  target  is included for immediate use.  

     CZPT parameters of magnetron sputtering machine

    Input Voltage

    a hundred and ten/220VAC switchable

    Output Power

    1600VDC

    250W

    150mA max.

    Created-in over current (>150mA) protection

    Specimen chamber

    Quartz glass tube, 167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height

    Sputtering Head 

    &

    Specimen stage

    two” magnetron sputtering head with water cooling jaket 
     is included ( click PIC below-left to see specs )

    One 50 mm Dia  stainless steel .sample stage is built in, 
    which is rotable from 0 – 5 RPM 

    One manually operated shutter is build in to achieve better coating 
    ( click PIC below -right to see detail )

    Built in a fixture to place sputtering head when open chamber

    Distance between sputtering head and sample stage is 
    adjustable from 60 – 100 mm.

    One Air Cold Recirculating Water Chiller  10L / min Flow is included
     for cooling sputtering head.

    Control Panel

    six” color  touch-screen control panel with PLC integration for easy operation

    One panel controls all parameters, including vacuum, current, 
    target position and substrate heating temperature

    Ultimate Vacuum Pressure

    Built in KF25 vacuum port

    The system requires a Ar gas tank with pressure regulator, which is not included

    <10E-2 mbar by vane vacuum pump (not included) for Au, Ag, Pt, Cu, Mo targets 
    (not sensitive to air)

    7.5E-5 mbar by Turbo molecular pump (not included) for 
    Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn targets (sensitive to air)

    Gas Atmosphere

    One needle valve installed to allow Ar gas inlet to achieve better plasma coating

    The system requires an Ar gas tank with pressure regulator which is not included

    Focus on

    Target size: 50 mm dia. x (.1 – 3) mm,thickness

    One 2″  Aluminium target  is included

    Also can coat Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Mg, etc.  
    These targets are available upon request.

    Aluminum Target Recommend Coating Method

    Optional CZPT Thickness Monitor

    CZPT thickness monitor is optional at extra cost ( click PIC below-left to see specsand order )

    Heatable sample stage upto 500oC  is available upon request at extra cost

    Overall Dimensions

    ( L 440mm×W 330mm × H 290mm without sputtering head )

    Warranty & Certificate

    One year limited with lifetime support

    CE certified

     Thickness check for magentron sputtering machine 

    All round dimensions of magentron sputtering machine/program

    Photographs of CY-16 Sputtering coater coating equipment:

           

    Optional Areas and CZPT:

        CZPT Pump:                                                                  water chiller:

    Contact Info:

Laboratory Single Target DC Power Magnetron Supptering Coater Coating Machine